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傳遞窗及周轉(zhuǎn)車使用注意事項(xiàng)

?    當(dāng)硅片要經(jīng)過(guò)傳遞窗傳送時(shí)，確保傳遞窗另一邊已關(guān)閉。將片盒從傳遞窗取出或放入后應(yīng)迅速關(guān)閉傳遞窗，并注意將傳遞窗上的扣鎖扣緊。

?    傳遞窗不使用時(shí)保持密封關(guān)閉。除片盒和跟蹤單以外的任何物品不允許通過(guò)傳遞窗來(lái)傳遞。

?    工藝停止運(yùn)行如換石英管或設(shè)備出故障時(shí)，周轉(zhuǎn)車的門要關(guān)閉。

?    每班在工作的時(shí)間內(nèi)，至少用IPA擦洗1次周轉(zhuǎn)車，使其放片盒處保持潔凈無(wú)灰塵。

?    雙手須戴潔凈、無(wú)汗跡的乳膠手套。

?    缷下的硅片裝滿承載盒后及時(shí)蓋上盒蓋。

?    每班班前換干凈的真空吸筆。

?    六排電池片每一排都要抽檢一片電池片，如發(fā)現(xiàn)嚴(yán)重色差片，要及時(shí)挑出，并且要全部檢查這一框電池片。

?    石墨框上不能有碎片等雜物（標(biāo)記片除外）。

?    進(jìn)料臺(tái)、出料臺(tái)處的片盒、承載盒以及記錄本等物品擺放要整齊。

?    設(shè)備蓋板上保持整潔，無(wú)明顯的灰塵、雜物。

?    地面保持干凈整潔，無(wú)碎片、SiN顆粒等雜物。

?    下班前30分鐘打掃進(jìn)料臺(tái)、出料臺(tái)處及設(shè)備周圍的的衛(wèi)生。

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