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潔凈室凈化工程的循環(huán)通風(fēng)系統(tǒng)
這種方式一般是采用數(shù)臺(tái)大型新風(fēng)處理機(jī)組和凈化循環(huán)機(jī)組集中設(shè)置在空調(diào)機(jī)房內(nèi)，空調(diào)機(jī)房可位于潔凈室凈化工程的側(cè)面或頂部經(jīng)過濕度、濕度處理和過濾后的空氣由離心風(fēng)機(jī)或軸瀝風(fēng)機(jī)加壓后通過風(fēng)道送人送風(fēng)靜壓箱，再經(jīng)由高教過濾器或超高放過濾鋁過濾后送人潔凈室凈化工程?；仫L(fēng)經(jīng)格柵地板系統(tǒng)，流入回風(fēng)靜壓箱再回到凈化循環(huán)系統(tǒng)，如此反復(fù)循環(huán)運(yùn)行。
(1)隧道潔凈室凈化工程送風(fēng)方式
這種送風(fēng)方式一般把潔凈室凈化工程劃分為生產(chǎn)核心區(qū)、維護(hù)區(qū)，生產(chǎn)核心區(qū)要求商潔凈度和嚴(yán)格的溫、濕度控制，設(shè)在單向流送風(fēng)區(qū)內(nèi)：維護(hù)區(qū)要求較低，設(shè)置生產(chǎn)輔助設(shè)備或無潔凈要求的生產(chǎn)設(shè)備的層部和配管配線犁，生產(chǎn)區(qū)為送風(fēng)區(qū)，維護(hù)區(qū)為回風(fēng)區(qū)，構(gòu)成空氣循環(huán)系統(tǒng)。一般隧道式送風(fēng)是由多臺(tái)循環(huán)空氣系統(tǒng)組成，所以其中一臺(tái)循環(huán)機(jī)組出現(xiàn)故障不會(huì)影響其他區(qū)域的生產(chǎn)環(huán)境桔凈度，并且各個(gè)循環(huán)系統(tǒng)可根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)需要進(jìn)行分區(qū)調(diào)整控制。
(2) FFU 風(fēng)機(jī)過濾單元送風(fēng)方式
這是在潔凈室凈化工程助吊頂上安裝多臺(tái)風(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組(Fan Filter
unit，簡稱FFU)，構(gòu)成凈化循環(huán)機(jī)組，不需要配置凈化循環(huán)空調(diào)機(jī)房，送風(fēng)靜壓箱為負(fù)壓?？諝庥蒄FU送到潔凈室凈化工程，從回風(fēng)靜壓箱經(jīng)兩側(cè)夾道回至送風(fēng)靜壓箱，根據(jù)潔凈室凈化工程的溫度調(diào)節(jié)需要，一放在回風(fēng)夾道設(shè)干式表冷器。新風(fēng)處理機(jī)可集中設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)，處理后新風(fēng)直接送人送風(fēng)靜壓箱。因送風(fēng)靜壓箱為負(fù)壓，有利于高效過濾器頂棚的密封；但由于FFU機(jī)組臺(tái)數(shù)較多，在滿布串較高時(shí)，一放投資較大，運(yùn)行費(fèi)用亦多．有的PFH噪聲較大，選用時(shí)需要注意。
(3)模塊式 FFU風(fēng)機(jī)過濾單元 送風(fēng)方式
它是由迭風(fēng)機(jī)安裝在u四A或u12A之上，1臺(tái)送風(fēng)機(jī)可配數(shù)臺(tái)高效過濾器的空氣循環(huán)系統(tǒng)，這種模塊式風(fēng)機(jī)單元(FMModdeudt，簡稱FMu)循環(huán)系統(tǒng)是無風(fēng)管道方式，空氣轄關(guān)速度較低，送風(fēng)機(jī)和過濾器維修較方便，能量消耗較少。
(4)開放式潔凈室凈化工程的送風(fēng)方式
這種方式是為了確保日益要求生產(chǎn)環(huán)境極為嚴(yán)格的半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的關(guān)鍵工序或設(shè)備的微環(huán)境控制達(dá)到高潔凈度等級(jí)，而其周圍的開放式大面積潔凈環(huán)境僅保持在相對(duì)較差的潔凈度等級(jí)，微環(huán)境內(nèi)控制沽凈度嚴(yán)格的單向流潔凈環(huán)境，而開放式潔凈室凈化工程為單向流或泄合流
潔凈室 凈化工程。這種方式的能量消耗較少，工藝布置靈活性好．建設(shè)投資和運(yùn)行費(fèi)用都可以降低。
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