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潔凈室熱蒸鍍機(jī)使用操作方法

A.開(kāi)機(jī)步驟

1. 開(kāi)機(jī)器背面的總電源開(kāi)關(guān)。

2. 開(kāi)冷卻水，需先啟動(dòng)D.I Water 系統(tǒng)。

3. 開(kāi)RP，熱機(jī)2分鐘。

4. 開(kāi)三向閥切至F.V的位置，等2分鐘。

5. 開(kāi)DP，熱機(jī)30分鐘(熱機(jī)同時(shí)即可進(jìn)行Sample 之清洗與裝載，以節(jié)省時(shí)間)。

B.裝載

1. 開(kāi)Vent，進(jìn)氣之后立刻關(guān)閉。

2. 開(kāi)Chamber。

3.  Loading Sample、Boat及金屬。

4. 以Shutter擋住Sample。

5. 關(guān)Chamber，關(guān)門(mén)時(shí)務(wù)必注意門(mén)是否密合，因機(jī)器年久失修，通常須用手壓緊門(mén)的右上角。

C.抽真空

1. 初抽

  (1) 三向閥切至R.V位置(